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LightFab公司利用超短脉冲激光器改进选择性激光蚀刻工艺
2017-04-27
 

[据工业激光器网站2017424日报道] LightFab公司与PhotoMachining公司正在合作开发利用飞秒激光器改进选择性激光蚀刻工艺。选择性激光蚀刻是指在透明材料上制作3D结构,共有两个步骤。第一步,通过激光辐射内部修饰透明熔石英玻璃,局部增加化学蚀刻性。采用短脉宽和小聚焦体积(几个立方微米),防止形成裂纹;第二步,通过湿化学蚀刻法选择性去除改性材料。选择率是改性材料的蚀刻速率与未处理材料的蚀刻速率之比。选择性是该技术精度所必需的。

PhotoMachining公司首席执行官认为,超短脉冲激光器市场日趋成熟,发展迅速。由于其独特性质,研究人员可利用超短脉冲而非长脉冲光进行选择性刻蚀。

3D精密玻璃部件市场应用广泛,尤其电子和医疗领域在美国具有巨大的市场潜力。

激光蚀刻工艺包括将硬的脆性材料及其他透明材料(熔石英)暴露于超短脉冲激光器,然后,采用化学蚀刻方法对暴露的区域进行蚀刻,因而蚀刻选择率提高了1000多倍。采用该工艺可在大部分材料内部打印3D图案,用于制作3D精密零件。未来,预计在微流体学等领域将发挥重要作用。(工业和信息化部电子第一研究所 许文琪)

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