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韩国三星电子新EUV生产线开始量产
2020-02-21

[据美国半导体摘要网站2020年2月20日报道]2月20日,全球先进半导体技术的领导者三星电子有限公司宣布,其位于韩国华城的尖端半导体生产线已经开始量产。

据三星官网介绍,该生产线V1是三星第一个致力于极端紫外线(EUV)光刻技术的半导体生产线,芯片制造主要采用7纳米以下的工艺制程。V1生产线于2018年2月动工,并于2019年下半年开始测试晶圆生产,第一批产品将在今年的第一季度交付给客户。

三星电子(Samsung Electronics)总裁兼晶圆代工业务主管ES Jung博士表示:“除了技术领先和基础设施之外,卓越的制造能力也是晶圆代工业务最重要的元素之一。随着产能的增长,V1生产线将增强应对市场需求的能力,并扩大为客户提供支持的机会。”

V1生产线目前正采用7纳米及6纳米工艺技术生产最先进的移动芯片,并将继续精细电路,直至3纳米工艺节点。

按照三星的计划,到2020年底V1生产线的累计总投资将达到60亿美元,预计7nm及以下工艺节点的总产能是2019年的三倍。V1生产线与S3生产线将一起发挥关键作用,以满足全球市场对晶圆代工技术的需求。

随着半导体几何尺寸变得越来越小,极紫外(EUV)光刻技术变得越来越重要,它可以缩小晶圆片上的复杂图形,并为下一代应用(如5G、人工智能和汽车)提供最佳选择。

随着V1生产线的投入使用,三星目前在韩国和美国共有6条铸造生产线,其中包括5条12英寸生产线和1条8英寸生产线。(国家工业信息安全发展研究中心 李茜楠)

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