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美国MicroGen公司与德国X-FAB公司完成压电式MEMS能量采集器的工艺转换
2013-03-20
    【据I-Micronews网站2013年3月15日报道】美国MicroGen系统公司宣布,德国X-FAB微机电系统(MEMS)代工厂在最快的时间内完成了压电式MEMS在200mm硅衬底上的工艺转换。MicroGen公司的第一款压电式MEMS产品线包括100~120Hz(或用户定制的谐振频率)的振动能量采集器或者微能源(MPG)。MPG是小型的圆片级封装器件,尺寸不大于1cm3,与绿豌豆一般大小。MicroGen公司的MPG是低成本、长寿命(估计>20年)的产品,利用环境中无用的振动产生能量,未来将替代无线传感器(WS)和其他微电子中的电池,或者延长其寿命。另外,该公司即将推出集成LTC3588-1能量采集电源管理电路的微能源电子模块(MPM),MPM输出电压为3.3V,并依据模块数量的多少提供25~250W的输出功率。
    MicroGen公司的BOLT™-R0120AMPM采用了一块X-FAB制造的MPG,已经用在德州仪器公司的eZ430无线温度传感器节点上,并利用一个校准扬声器模拟了工业和建筑物的震动环境(120Hz、0.3g),eZ430需要1.5~9.4mA、3.3V的直流电(约5~31mW)才能运行。结果显示BOLT™-R0120A MPG输出的交流电通过LTC3588-1可有效转换为直流电,并能将电压调节到eZ430所需的3.3V。
    X-FAB的首席执行官Rudi De Winter评论说,“我们与MicroGen是一个很好的关系,X-FAB乐于参与新型绿色技术的生产,它将在未来几年形成一个相当大的市场”。X-FABMEMS代工厂的总经理Peter Merz也表示,“我们相信,凭借X-FABMEMS代工能力,以及与德国弗劳恩霍夫研究所在工艺开发上的紧密合作关系,我们能为像MicroGen这样的公司提供有效和灵活的解决方案,很高兴成为MicroGen的合作伙伴”。
    MicroGen的首席执行官Robert Andosca博士表示,“我对X-FAB MEMS代工厂的能力和技术非常满意。上市时间对任何新产品都至关重要。没有X-FAB的专业知识和奉献,我们不可能这么及时地投入预生产。MicroGen计划今年夏季推出集成电源管理电路和能量存储模块的BOLT™系列产品。”(工业和信息化部电子科学技术情报研究所  胡开博)

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