[据军事与航空航天网站2014年12月4日报道]美国硅设计公司推出一款1510系列低成本表面贴装型模拟微机械电子系统(MEMS)可变电容加速计,可用于航天、汽车、能源、工业、石油和天然气、测试和测量等应用场合。
该1510系列能够用于通用振动测量,具有长期稳定性。1510系列产品内部集成了微机械可变电容传感单元和定制的集成电路。
该加速计产生两个模拟电压,两者之差和测量的加速度级别成比例关系。该系列产品分为交流和直流加速计,具有从0.5伏到4.5伏等4种不同的单端输出电压。所有输出电压在零加速度时为2.5伏。
该器件敏感轴垂直于底部,
符合欧盟有害物质限用指令,能够可靠工作在-40~85℃的标准温度范围。作为MEMS器件,该1510系列产品对温度变化和梯度不敏感,信号输出不受电磁干扰影响,也不需要预热。
该MEMS器件的标准测量范围为±5g~±100g,对应频率响应从0~600Hz(±5g)到0~2500Hz(±100g)。(工业和信息化部电子科学技术情报研究所 王巍)