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美开发出低成本三维纳米结构纳米光刻技术
2014-12-12
    【英国工程师网站2014年12月8日报道】北卡罗莱纳州立大学研究人员开发出一种创建3D结构的新技术,不依赖于传统方法,而且成本更低。这种技术无需常规技术的昂贵设备也能制造出3D纳米结构,无需采用二维图案逐层堆叠的方式,一次成型。

    研究人员采取特殊的方法把纳米级聚苯乙烯球直接放置到感光膜的表面,利用米氏散射(Mie scattering)原理控制光与聚苯乙烯纳米球的相互作用,从而将聚苯乙烯纳米球雕刻出各种各样的3D结构。聚苯乙烯纳米球接近透明,能够将穿过他们的光线折射和散射,通过改变纳米球的大小和曝光的时帧来进行工艺控制。这个过程也依赖于对光源的角度、波长和偏振的精确控制。使用单束光或者多束光,这项技术能够实现各种各样的纳米结构设计。利用纳米球的自组装能力,还可以构建均匀的3D结构图案。这项技术可用于制造纳米针、纳米喷嘴和各相异性材料,在生物医药、电子、光子应用方面的具有很大的潜力。(中国航空工业发展研究中心 胡燕萍)

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